- 1. 离子刻蚀: ion etching
积层结构的贯通孔利用反应性离子刻蚀（Ion Etching）进行加工配置。其他的工序也可以采用与此前大致相同的装置和材料。
dict.youdao.com - 2. 离子刻蚀: ie
... idling空转 ie离子刻蚀 ignictionspark点火火花 ...
dict.youdao.com - 3. 离子刻蚀: reactive ion etching
反应离子刻蚀(reactive ion etching,RIE)是利 用一定压强下刻蚀气体在高频电场的作用下,使气 体辉光放电产生分子激励和活性基,对刻蚀物离子 轰...
dict.youdao.com - 4. 离子刻蚀: RIE
因此各种干法 刻蚀方法得到了广泛的关注和研究，其中反应离子刻蚀（ReactiveIon Etching，RIE） 是一种很重要的刻蚀方法，但与硅相比，碳化硅的RIE刻蚀速率明显偏慢，SiC的 RIE刻蚀速率只有3...
dict.youdao.com - 5. 反应离子刻蚀: Reactive-ion etching
dict.youdao.com - 6. 反应离子刻蚀: RIE
dict.youdao.com - 7. 反应离子刻蚀: RIE Etching
dict.youdao.com - 8. 反应离子刻蚀: RIE-Reactive Ion Etch
dict.youdao.com - 9. 深反应离子刻蚀: DRIE
dict.youdao.com - 10. 深反应离子刻蚀: Deep Reactive Ion Etching
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