reactive ion etching

• 1. 反应离子刻蚀: Reactive-ion etching | RIE | RIE Etching | RIE-Reactive Ion Etch
• 2. 深反应离子刻蚀: DRIE | Deep Reactive Ion Etching
• 3. 反应离子刻蚀法: Reaction Ion Etch | Reactive Ion Etching

更多释义

• 1.通过反应离子刻蚀可以将光刻胶微透镜图形转移至这种高性能的聚合物材料上。
  Pattern transfer technique is used to transfer photoresist microlens arrays into the polymer underlayer.
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• 2.衍射光学元件的制作技术主要包括激光或电子束直写、反应离子刻蚀、离子束铣及薄膜沉积。
  DOE's fabrication techniques mainly include laser beam or electron beam writing, RIE, ion milling and thin film deposition.
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• 3.我们同时对反应离子刻蚀工艺中的等离子体充电效应和离子轰击对氧化硅造成的损伤进行了讨论。
  At the same time, the influence of plasma charging and ion bombardment on the quality of silicon oxide are analyzed.
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