• 1. ion etching: 离子蚀刻 | 离子刻蚀 | 离子蚀刻法 | 离子腐蚀
• 2. Reactive Ion Etching: 反应离子刻蚀 | 反应离子腐蚀 | 反应性离子蚀刻
• 3. ion etching chamber: 离子蚀刻室

更多释义

• 1.The theory of ion etching and the parameter of ion source designing are discussed in detail.
  并且详细论述离子刻蚀的原理以及离子源的参数设计。
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• 2.Photoresist grating was fabricated by holography, and it was used in the mask of ion etching.
  采用全息法制备了光刻胶光栅，并用该光栅掩膜离子蚀刻。
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• 3.A patterned DLC thin film cathode was fabricated by reactive -ion etching method and mic ro -fabrication technology.
  通过离子束技术和微细加工技术可以实现DLC薄膜的图形化并能大大提高薄膜的场发射性能。
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