...不管是简单的线条还是需要上百甚至上千步工艺的集成电路，这些工艺概括起来大致有以下四个方面：1．薄膜沉积（film deposition）：为了制备复杂结构，首先需要将复杂结构所需要的材料沉积在样品上，根据要求不同，沉积的薄膜作用也不同，如沉积的薄膜作为晶体...
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optical thin film deposition 光学镀膜 ; 镀膜
chemical vacuum thin-film deposition 化学真空薄膜沉积
film deposition rate 薄膜沉积速率 ; 镀层沉积速率 ; 沉积速度
Film deposition and CMP 薄膜沉积与化学机械研磨
Film deposition and Lithography 薄膜沉积与曝光
thin film deposition 套管 ; 薄膜沉积
Film deposition and Etch 薄膜沉积与蚀刻
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A technique - filtered vacuum arc ion coating for thin film deposition-is reviewed in this paper.
介绍了一种新的镀膜技术—过滤式真空电弧离子镀膜技术。
DOE's fabrication techniques mainly include laser beam or electron beam writing, RIE, ion milling and thin film deposition.
衍射光学元件的制作技术主要包括激光或电子束直写、反应离子刻蚀、离子束铣及薄膜沉积。
The use of pulsed high energy density plasma is a new low temperature plasma technology for material surface treatment and thin film deposition.
脉冲高能量密度等离子体是一项全新的等离子体材料表面处理和薄膜制备技术。
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