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反应离子刻蚀(reactive ion etching,RIE)是利 用一定压强下刻蚀气体在高频电场的作用下,使气 体辉光放电产生分子激励和活性基,对刻蚀物离子 轰...
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... reactive gas 反应气体；活性气体 reactive ion etching （RIE） 反应离子腐蚀 reactive load 电抗负载 ...
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第二个步骤，我们利用非等向性蚀刻， 例如：反应性离子蚀刻(Reactive ion etching，RIE)，去移除被压印之区域之剩馀光阻。
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