反应离子刻蚀(reactive ion etching,RIE)是利 用一定压强下刻蚀气体在高频电场的作用下,使气 体辉光放电产生分子激励和活性基,对刻蚀物离子 轰...
基于102个网页-相关网页
... reactive gas 反应气体；活性气体 reactive ion etching （RIE） 反应离子腐蚀 reactive load 电抗负载 ...
基于44个网页-相关网页
Deep Reactive Ion Etching 深层离子蚀刻技术 ; 深反应离子刻蚀 ; 离子蚀刻技术 ; 利用深反应离子蚀刻
Reactive Ion Etching System 反应离子刻蚀系统
triode reactive ion etching system 三极型反应性离子蚀刻系统 ; 三硝基苯
Reactive Ion Etching Machine 反应离子刻蚀设备
Polysilicon Reactive Ion Etching 复晶硅活性离子蚀刻系统
Poly-Si Reactive Ion Etching System 子蚀刻系统
reactive ion etching rie 反应离子刻蚀
RIE Reactive Ion Etching 反应离子腐蚀
·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
This accelerometer is fabricated by N type silicon wafer. To obtain high aspect ratio structure, deep reactive ion etching(DRIE) process is employed.
加速度计用普通的N型硅片制造，为了刻蚀高深宽比的结构，使用了深反应离子刻蚀（DRIE）工艺。
Yak hairs were treated by the microwave electron cy cl otron resonance plasma reactive ion etching(ECR-RIE) equipment to improve its property of weave.
采用微波电子回旋共振等离子体反应离子刻蚀（E CR-R IE）装置对牦牛毛纤维进行表面改性，从而改善牦牛毛的可纺性。
The gated silicon field emitter arrays (FEA) with small gate aperture have been successfully fabricated by dry etching, including ion beam etching (IBE) and reactive ion etching (RIE).
利用离子束刻蚀(IBE)和反应离子刻蚀(RIE)等干法刻蚀方法来制造带栅极的场发射阴极阵列。
应用推荐