短语
介电层
dielectric layer
;
Dielectrics
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gate dielectrics
闸极介电层
gate dielectric
高介电层
High-k Metal Gate
;
HKMG
高介电层金属闸
High-K Metal Gate
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HKMG
介电层厚度
Dielectric Thickness
高介电层/金属闸
High-k Metal Gate
超薄介电层成型技术
Atomic layer deposition
层间介电层
ILD CMP
;
inter layer dielectric
高介电层/金属闸
High-k Metal Gate
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