在制作方面，我们 以Glass 作为光波导层，氮化矽 ( SiNx )作为透镜的材质，利用半导 体制程的方法，将设计的系统制作出来。
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氮氧化矽 SiON ; SiOxNy ; Silicon Oxynitride ; PolySiON
氮化镓上矽 GaN-On-Silicon ; GaN-on-Si
金属氧化氮氧化矽 MONOS
矽基氮化镓 GaN-on-Si
及氮氧化矽 Silicon Oxynitride
以及氮氧化矽 Silicon Oxynitride
氮化矽
Silicon nitride
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氮化硅是一种重要的结构陶瓷材料。它是一种超硬物质，本身具有润滑性，并且耐磨损，为原子晶体；高温时抗氧化。而且它还能抵抗冷热冲击，在空气中加热到1000℃以上，急剧冷却再急剧加热，也不会碎裂。正是由于氮化硅陶瓷具有如此优异的特性，人们常常利用它来制造轴承、气轮机叶片、机械密封环、永久性模具等机械构件。如果用耐高温而且不易传热的氮化硅陶瓷来制造发动机部件的受热面，不仅可以提高柴油机质量，节省燃料，而且能够提高热效率。我国及美国、日本等国家都已研制出了这种柴油机。
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