residual gas analyzer
由双路通道将气体传送给RGA（残余气体分析仪）：一路是高压部分直接做基本的测试，一路被削减压力的气体输入到过程监控中进行压力监控。
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利用残余气体分析仪在线监测了真空室内的残余气氛组成。
An in situ residual gas analyzer (RGA) was used to monitor the residual gas composition in the vacuum chamber.
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