反应离子刻蚀 Reactive-ion etching ; RIE ; RIE Etching ; RIE-Reactive Ion Etch

深反应离子刻蚀 DRIE ; Deep Reactive Ion Etching

反应离子蚀刻 RIE ; deep RIE

深反应离子蚀刻 DRIE ; deep reactive ion etching

反衬刻蚀 contrast etching

反应性溅镀蚀刻系统 reactive sputter etching system

反应溅射刻蚀 [电子] reactive sputter etching

反应性离子蚀刻 Reactive Ion Etching ; RIE

反应离子束蚀刻 RIBE ; reactive ion beam etching

深层反应离子蚀刻 DRIE