该项高科技采用新技术「深层反应离子蚀刻(DRIE)，先将擒纵齿轮的影像投射到矽晶圆上，再清除曝光的瓷漆层，留下晶圆上未经曝光的部分，接着未经曝光的瓷漆层会以电浆蚀刻至隔...
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深层反应离子刻蚀 deep reactive ion etching ; DRIE ; Deep RIE
深层反应离子蚀刻
Deep reactive ion etching
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