反应离子刻蚀 Reactive-ion etching ; RIE ; RIE Etching ; RIE-Reactive Ion Etch
深反应离子刻蚀 DRIE ; Deep Reactive Ion Etching
反应离子蚀刻 RIE ; deep RIE
深反应离子蚀刻 DRIE ; deep reactive ion etching
反应离子束刻蚀 RIBE
反应离子束蚀刻 RIBE ; reactive ion beam etching
低压反应离子镀 RLVIP ; Reactive low voltage ion plating ; low voltage reactive ion plating
深层反应离子蚀刻 DRIE
反应离子镀 reactive ion plating
Also, the cost should be controlled well. This thesis is to research the reactive ion etching (RIE) and make it to be applied in the IC device with TSV wafer level package.
本论文的目的是通过对反应离子刻蚀技术的研究,使之应用于IC器件TSV晶圆级封装技术中。
参考来源 - 反应离子刻蚀在穿透硅通孔封装技术中的应用研究·2,447,543篇论文数据,部分数据来源于NoteExpress
通过反应离子刻蚀可以将光刻胶微透镜图形转移至这种高性能的聚合物材料上。
Pattern transfer technique is used to transfer photoresist microlens arrays into the polymer underlayer.
衍射光学元件的制作技术主要包括激光或电子束直写、反应离子刻蚀、离子束铣及薄膜沉积。
DOE's fabrication techniques mainly include laser beam or electron beam writing, RIE, ion milling and thin film deposition.
我们同时对反应离子刻蚀工艺中的等离子体充电效应和离子轰击对氧化硅造成的损伤进行了讨论。
At the same time, the influence of plasma charging and ion bombardment on the quality of silicon oxide are analyzed.
So, in other words, this c l minus is actually lower in energy than the reactants were.
也就是说,负一价氯离子,比原来的反应物的能量更低。
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