... 2.非等向性（anisotropic） 蚀刻制程（Etching） 1.湿式蚀刻（wet etching）- ...
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蚀刻制程化学品 etching process chemical
反应式离子蚀刻制程 Reactive Ion Etch ; RIE
蚀刻制程
Etching process
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薄膜先以微影及蚀刻制程制作出金属线路，线路之间则填入二氧化矽。
The lithographic and etching process for a membrane creates a mesh of metal wires with silicon dioxide filling the space between them.
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