...版,预计成本可再下降20%,2010年力晶也打算要导入策略伙伴尔必达(Elpida)45奈米制程,目前已在订浸润式机台(Immersion Scanner),预计第4季会开始导入工程。
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浸润式曝光机台 Immersion Scanner
浸润式微米曝光机台 Immersion Scanner
浸润式机台
Infiltrating machine
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