...缩难度越高，良率拉升速度越来越慢，二是遇到机台设备的资金天险，40奈米制程以下需要用到浸润式微米曝光机台(Immersion Scanner)，1台要价新台币10亿元，而20奈米制程以下需要的超紫外光微影设备(EUV)则需要新台币30亿元，对DRAM厂而言都是庞大负担。
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浸润式微米曝光机台
Wetting micrometer exposure machine
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