在力晶自己的45奈米制程进度上，力晶目前已有1台浸润式曝光机台(Immersion Scanner)，还有1台机器设备很快就会到位，预计第1季底之前会有3台浸润式曝光机台，2011年底之前会完成5台浸润式曝光机台，预计旗下产能都...
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浸润式微米曝光机台 Immersion Scanner
浸润式曝光机台
Infiltrating exposure machine
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