GaN:提高内量子效率,如:采用 ELOG(横向外延过生长)技术,减少外延缺陷,提高晶格质量,优 化 MQW(多量子阱)的生长质量,达到提高光强目的,改变器件结构,提高光强和光电性能(如...
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Epitaxial Lateral Overgrowth
...二极管; 横向外延过生长; 综述 [gap=1758]Key words: patterned sapphire substrate; GaN; LED; epitaxial lateral overgrowth; review ...
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1.3.2横向外延过生长(LEOG)I外延技术 异质外延生长的GaN材料中存在很高的位错密度,高的位错密度是导致 器件老化的一个主要原因。
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