随后出现的横向外延过生长技术(ELOG,Epitaxy of LateralOver-growth)和悬挂外延技术正是为了解决这一问题而提出的。
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随后出现的横向外延过生长技术(ELOG,EpitaxyofLateralOver-growth)和悬挂外延技术正是为了解决这一问题而提出的。
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横向外延过生长技术
Lateral epitaxial overgrowth technique
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