深反应离子蚀刻 DRIE ; deep reactive ion etching

深层反应离子蚀刻 DRIE

反应离子刻蚀 Reactive-ion etching ; RIE ; RIE Etching ; RIE-Reactive Ion Etch

深度反应离子蚀刻 Deep Reactive Ion Etch ; DRIE

反应离子蚀刻技术 reactive ion etching ; RIE

利用深反应离子蚀刻 Deep Reactive Ion Etching ; DRIE

深反应离子刻蚀 DRIE ; Deep Reactive Ion Etching

反应离子束刻蚀 RIBE

反应性离子蚀刻 Reactive Ion Etching ; RIE