...om豆丁网 造型及摩擦学性能研究 LIGA技术【321、UV光刻技术（UV Photolithography）、反应离子蚀刻技术（Reactive ion etching，RIE）133】、如压刻技术［34-351、超声加工方法等。
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深反应离子刻蚀技术 deep reactive ion ething ; DRIE
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