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网络释义专业释义

  DRIE

深反应离子刻蚀（DRIE）是一个很好的例子，DRIE通过精密刻蚀硅材料，严格控制深度、宽高比及侧壁轮廓来实现3D结构。

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  Deep Reactive Ion Etching

...仪；悬空硅；深反应离子刻蚀 [gap=883]Keywords: Notching effect；anemometer；suspended silicon；deep reactive ion etching(DRIE) ...

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短语

深反应离子刻蚀技术 deep reactive ion ething ; DRIE

深反应离子蚀刻 DRIE ; deep reactive ion etching

深层反应离子蚀刻 DRIE

深层反应离子刻蚀 deep reactive ion etching ; DRIE ; Deep RIE

深度反应离子蚀刻 Deep Reactive Ion Etch ; DRIE

深度反应离子刻蚀 Deep Reactive Ion Etch

利用深反应离子蚀刻 Deep Reactive Ion Etching ; DRIE

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双语例句

  • 加速度计用普通的N型硅片制造，为了刻蚀高深宽比的结构，使用了深反应离子刻蚀（DRIE）工艺。

    This accelerometer is fabricated by N type silicon wafer. To obtain high aspect ratio structure, deep reactive ion etching(DRIE) process is employed.

    youdao

  • 采用经过参数优化的DRIE刻蚀深硅槽，并用反应离子刻蚀(RIE)对深槽开口形状进行修正，制造了具有理想侧壁形状的深槽，利于介质的完全填充，避免产生空洞。

    By optimizing DRIE parameters and RIE etching the trenches' opening, the ideal trench profile is obtained to ensure that the trenches are fully refilled without voids.

    youdao

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