二次离子质谱（secondary ion mass spectroscopy），是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器，它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面，使样品表面的分子吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,通过质量分析器收集、分析这些二次离子，就可以得到关于样品表面信息的图谱。
...范围内的界面反应进行了研究。结果表明,室温下在Cr与蓝宝石的界面处就能发生化学反应,高温退火对界面反应更为有利。二次离子质谱(SIMS)作为一种重要表面分析技术,具有极高的检测灵敏度、良好的深度分辨本领和一定的化学态分析..
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二次离子质谱（SIMS，Secondary Ion Mass Spectroscopy)就是根据此原理 实现的。如图中的II。
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... 扫描俄歇电子显微镜 scanning auger microscopy 二次离子质谱 secondary-ion mass spectrometry 自蔓延烧结 self-propagation high temperature synthesis ...
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二次离子质谱仪 SIMS ; [物] secondary ion mass spectrometer ; secondary ion mass spectrograph ; Secondary Ion Mass Spectra
动态二次离子质谱法 dynamic SIMS ; DSIMS
静态二次离子质谱法 static SIMS
二次离子质谱法 secondary ion mass spectrometry ; SIMS ; Second Ion Mass Spectroscopy
二次离子质谱计 secondary ion mass spectrometer
二次离子质谱测定法 secondary ion mass spectrometry
二次离子质谱学 secondary ion mass spectroscopy
静态二次离子质谱 Static second ion mass spectroscopy ; SSIMS ; static secondary ion mass spectrometry
液体二次离子质谱 LSIMS ; liquid secondary ion mass sp ; Liquid Secondary Ion Mass Spectrometry ; LSI-MS
用二次离子质谱测量了注入硼离子的深度分布。
Secondary ion mass spectrometry was used to measure the distribution of implanted depths of boron ions.
飞行时间二次离子质谱（TOF- SIMS）是一种非常灵敏的表面检测技术。
Time-of-Flight secondary ion mass spectrometry (TOF-SIMS) is a very sensitive surface analytical technique, well established for many industrial and research applications.
此外，两种不同表面状态下的化学成分以及氧化层都通过二次离子质谱测定法进行了分析。
Additionally, chemical composition and thickness of oxide layers, occurring in both studied cases, were analyzed by secondary ion mass spectrometry.
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