secondary ion mass spectrometry
定义 中文名称：二次离子质谱法 英文名称：secondary ion mass spectrometry 定义：用能量1～20keV的一次离子束轰击固体试样，溅射出二次离子，再进行质谱分析的方法，可以检测由氢到铀的所有元素，能够进行表面微区分析和纵深分析，测出化学
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... 辉光放电质谱（GDMS） 二次离子质谱法（SIMS） 电感耦合等离子体质谱（ICP-MS） ...
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Second Ion Mass Spectroscopy
3、二次离子质谱法（Second Ion Mass Spectroscopy，SIMS），这种方法制样方便可以测量硅中总的氧含量，但精度较低。
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