[0002] 当前，ITO( 氧化铟锡)、IZO( 铟锌氧化物) 是最常见的无机金属氧化物薄膜电极， 然而随着稀有金属的日趋匮乏，价格日益上涨，而且其脆性特点进一步限制了它们在光电、
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采用溶胶凝胶法制备了非晶铟锌氧化物(a-IZO)薄膜, 并作为薄膜晶体管(TFT)的有源层制备了a-IZO TFT。研究了IZO薄膜中铟锌比对薄膜性质及a-IZO TFT器件性能的影响。
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铟镓锌氧化物 IGZO ; indium gallium zinc oxide
铟锡锌氧化物 ITZO
铟锌锡氧化物 IZTO
锌铟锡氧化物 ZITO
铟镓锌氧化物半导体 IGZO
铟锌氧化物
Indium zinc oxide
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