铟镓锌氧化物(IGZO)是一种新型宽禁带半导体材料,近年来被成功地应用在LED背光液晶显示的TFT驱动技术上,有望给LED背光的液晶显示技术带来一场新变革...
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...,我们最感兴趣的还是这款超清显示器将采用的IGZO面板技术,简单来说,该技术就是使用铟镓锌氧化物(indium gallium zinc oxide)作为新一代薄膜晶体管技术中的沟道层材料,IGZO也是由于铟镓锌氧化物的英文缩写而得名。夏普是该技术的开发者之一。
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铟镓锌氧化物半导体 IGZO
铟镓锌氧化物
Indium gallium zinc oxide
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传统的非晶硅薄膜晶体管和有机薄膜晶体管已经很难满足要求,以铟镓锌氧化物(IGZO)为代表的透明非晶氧化物半导体(TAOS)具有迁移率高、均一性好、透明等优点,将有望成为下一代显示技术中薄膜晶体管的有源层材料。 性能作为TFT的核心部分,有源层的成膜质量、厚度等因素直接影响到薄膜晶体管的器件性能,所以对IGZO-TFT有源层的研究具有重要的意义。 退火处理另外,退火处理也是改善薄膜晶体管性能的一种重要途径。 (1)首先,采用射频磁控溅射制备了IGZO薄膜并进行了薄膜特性研究。XPS结果...
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