在室温下采用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了200 nm厚的铟锡锌氧化物(ITZO)薄膜,研究了不同功率下薄膜结构、形貌、光学和电学性能的变化规律。
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铟锌锡氧化物 IZTO
锌铟锡氧化物 ZITO
铟锡锌氧化物
Indium tin zinc oxide
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