化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition 简称CVD) 是利用气态或蒸汽态的物质在气相或气固界面上发生反应生成固态沉积物的过程。
...:在物理蒸气沉积中,膜产生在固体表面上,是由元素和化合物从蒸气相凝结而成的,其原理一般为纯粹的物理效应,但有时也可以与化学效应相关联,包括蒸发、溅射和离子镀等方法。化学气相沉积法(CVD):CVD实质上是一种气相物质在高温下通过化学反应而生成固态物质并沉积在基板上的成膜方法。
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3、化学气相沉积法（Chemical vapor deposition） 化学气相沉积法（CVD）是目前制备单层奈米碳管最有效率的方法，此法可应用于大 表面积的生产或拥有多种产物型态的特质。
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... 离子束注入ion injection 化学气相沉积法chemical vaporous depositon 物理气相沉积法physical vaporous deosition ...
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微波等离子体增强化学气相沉积法（MPCVD法）是众多低气压下激活CVD工艺方法的一种，也是目前在国内外比较流行的制备金刚石薄膜的工艺方法之一。其特点是低温、低压、清洁。
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热丝化学气相沉积法 HFCVD ; HWCVD ; HFCVD or HWCVD ; Hot filament chemical vapor deposition
低压化学气相沉积法 LPCVD ; Low Pressure CVD ; Low Pressure Chemical Vapor Deposition
常压化学气相沉积法 APCVD ; Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition
改进的化学气相沉积法 MCVD
热化学气相沉积法 Thermal CVD ; thermal chemical vapor deposition ; HCVD ; TCVD
高温化学气相沉积法 HTCVD
丝化学气相沉积法 HFCVD ; Hot filament chemical vapor deposition ; Hot Wire Chemical Vapor Deposition
催化化学气相沉积法 ACCVD ; catalytic chemical vapor deposition technique ; CatalyticChemical vapor deposition ; CAT-CVD
单源化学气相沉积法 SSCVD ; Single source chemical vapor deposition
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化学气相沉积法是最可行的方法。
所用的碳纳米管是用热灯丝化学气相沉积法合成的。
Carbon nanotubes in experiments were synthesized by hot filament chemical vapor deposition.
研究所用的碳纳米管是用热灯丝化学气相沉积法合成的。
The carbon nanotubes were synthesized by the heat filament chemical vapor deposition.
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