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结深 百科内容来自于： 百度百科

结深

定义为从硅中表面到扩散层浓度等于衬底浓度处之间的距离,一般以微米为单位计量。
结深的测量，通常在100mlHF（49%）加几滴HNO3d的混合液中对磨斜角（1°～5°）的样品做化学染色，有时只要HF就够了。如果样品置于强光下照一两分钟，P型区要比n型区染色重。利用Tolansky干涉条纹技术，可精确测量0.5～100μm的结深。
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- 来自原声例句
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