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前烘 百科内容来自于： 百度百科

简介

光刻工艺的基本步骤之一，也被称为软烘。即在一定的温度下，使光刻胶膜里面的溶剂缓慢地、充分地逸出来，使光刻胶膜干燥。
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- 来自原声例句
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