透明导电薄膜是一种既能导电又在可见光范围内具有高透明率的一种薄膜，主要有金属膜系、氧化物膜系、其他化合物膜系、高分子膜系、复合膜系等。金属膜系导电性能好，但是透明率差。
...直流磁控溅射方法室温下在玻璃基板上制备了氧化锌/铝/氧化锌（zno/al/zno）多层复合透明导电薄膜（transparent conductive film）。基于氧化锌（zno）的透明导电薄膜在平板显示器和太阳电池板等领域有很大的应用前景。
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...究还未见报道，并且有报道称Ti掺杂 能够提高氧化锌薄膜的电导率 ［11］ ；因此，本文对 Ti 、 Ga共掺杂ZnO 透明导电薄膜 （ TGZO ）的制 备工艺和光电性能进行了研究，采用直流磁控溅 射工艺在水冷玻璃衬底上成功制备出了附着性能 良好的 TGZO透明导电薄膜 。
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ATO透明导电薄膜 ATO transparent conductive films
透明导电性薄膜 ELECRYSTA
透明导电ITO薄膜 Transparent and conductive ITO films
的透明导电氧化铟薄膜 Indium tin oxide ; ITO
透明导电氧化物薄膜 Transparent Conductive Oxide films
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所有计算表明AZO材料可作为优良的透明导电薄膜材料。
All calculated results showe that the AZO materials can be used as excellent transparent conducting films.
采用直流磁控溅射工艺，室温下在载玻片上制备了氧化锌铝透明导电薄膜。
ZnO: Al thin films were prepared on slide glass substrates by non-reactive DC magnetron sputtering at room temperature.
柔性衬底氧化物半导体透明导电薄膜的开发和应用将扩大TCO薄膜的应用领域。
The research and development of TCO films (including ITO films and AZO) prepared on flexible substrate will expand more applications.
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