free gas ion
... free gas 游离气体 free gas ion 自由气体离子 free gas space in column 柱中游离气体空间(气体滞留) ...
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结果表明，射频功率的改变直接影响到离子对衬底的轰击效应，而反应气压的改变影响气体分子的平均自由程。
Results show that the change of power affects ions' bombardment on the substrate, and that of pressure lead to the change of the mean free path of the molecular.
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