... Diamond-like carbon 类金刚石 diamond-like film 类金刚石膜 diamond-like semiconductor 类金刚石半导体 ...
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中文关键词： 类金刚石薄膜,脉冲激光沉积,拉曼光谱,光学性质 中文摘要： 类金刚石膜（diamond-like carbon,DLC）是一类在性质上和金刚石很类似,具有sp2和sp3杂化的碳原子空间网络结构的非晶碳膜。
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无氢类金刚石膜 HFDLC
类金刚石薄膜 Diamond like Carbon ; Diamond-like Carbon Films ; DLC ; dlc thin film
类金刚石碳镀膜 Diamonde Like Coating ; DLC
个类金刚石薄膜 Diamond like carbon ; DLC
由于类金刚石薄膜 Diamond-like Carbon films ; DLC
制备类金刚石薄膜 Diamond Like Carbon ; DLC
本论文以类金刚石薄膜 Diamond like carbon film ; DLC
引言类金刚石薄膜 DLC ; Diamond-like carbon films
论文以类金刚石薄膜 Diamond like carbon film
最后，简要说明了非晶碳类金刚石膜应用情况。
Finally, the application of DLC films was introduced briefly.
分析了目前类金刚石膜在模具上的应用和推广中存在的障碍。
The problems of applying DLC films in dies were also discussed.
本文介绍了氟化类金刚石膜的结构、性能、应用领域和发展趋势。
Introduces the structure and properties of diamond-like fluorinated carbon film, as well as the fields of its application and developing trend.
carbon diamond-like film 又称山膜。碳的一种亚稳态，组成主要是碳，也含有氢，其量随工艺条件而异，最多时可达20%。类金刚石具有很高的硬度、高导热性、高绝缘性、良好的化学稳定性、从红外到紫外的高光学透过率等。这与金刚石相似，但其性能数值均低于金刚石膜。类金刚石膜已开始用作耐磨涂层。 类金刚石碳（DLC）是非晶结构，碳原子主要以sp3和sp2杂化键结合。含氢DLC又称为α-C:H，其中氢含量在20%到50%之间。无氢类金刚石膜包括无氢非晶碳（α-C）和四面体非晶碳（ta-C）膜。α-C膜含有一些sp3键；ta-C膜中以sp3键为主（sp3>70%）。 目前，有研究者将高应力的DLC膜用于半导体制造工艺中，覆盖在MOS器件上方，用于提高器件中的应力以改善器件载流子迁移率性能。
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