引言类金刚石薄膜(diamond-like carbon,DLC)是一种性能与金刚石薄膜极为相似但往往含有大量sp2杂化键的非晶碳膜.
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...年 ： 类金刚石膜 PECVD 红外吸收光谱 【分类号】： O484;O539 【正文快照】： 1引言类金刚石薄膜(Diamond-like Carbon Films,DLC)是一种新型高阻隔材料。
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引言类金刚石薄膜
Introduction Diamond-like film
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