为了提升该材料在石英基板上的导电性，这些研究人员使用了真空退火(vacuum annealing)工艺，不过目前他们正在尝试取消这一步骤，因为据称这种改进将有可能实现低温下在柔性塑料基板上制作石墨烯电极。
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/, TCR over -3%/K. In the study on deposition conditions, the effects of Ar/O2, sputtering power, gas pressure, vacuum annealing, substrate types and substrate temperature on the performance of vanadium oxide thin films are analyzed.
在工艺参数对氧化钒薄膜性能影响的研究中,得到了基片温度、基片类型、氩氧比例以及真空退火等条件对氧化钒薄膜性能的影响。
参考来源 - 非制冷红外探测器用高TCR氧化钒薄膜的制备研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
也讨论了真空退火的影响。
对氢脆的危害进行了探讨，得出了适宜的真空退火条件。
The harmness of the hydrogen frangibility is discussed, and then the appropriate conditions of vacuum anneal are gained.
该设备也适用于多种激光晶体的生长和激光晶体的真空退火。
The puller also applied growing and vacuum anneal of laser crystal.
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