背沟道刻蚀型 back channel etch type
沟道刻蚀
Channel etching
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
然后在氧等离子体中用电子束刻蚀法去除沟道区石墨烯形成晶体管的沟道。
They then defined the transistor channel using electron-beam lithography, removing graphene outside of channel regions with an oxygen plasma.
youdao
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动