...化物IGZO TFT结构 目前金属氧化物IGZO TFT的结构主要有刻蚀 阻挡型（etch stop type）、背沟道刻蚀型（back channel etch type）和共面型（coplanar type）三种类 型，其结构特点及优缺点如表2所示。
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背沟道刻蚀型
Back channel etched type
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