总厚度变化 TTV ; Total Thickness Variation
总厚度变动 total thickness variation
总起止畸变度 degree of gross start-stop distortion
总年度变动成本 Total Annual Variable Costs
硅片总厚度变化 TTV
总的长度变化 LSUM
总应变能密度 total strain energy density
总变度
Total variability
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