...在此模型的基础上，推导了硅片磨削面型的方程以及表征硅片面型精度的重要指标—硅片总厚度变化(Total Thickness Variation，TTV)的计算公式；应用VC++6.0编程技术和OpenGL三维图形库开发了磨削面型仿真软件，对真空吸盘修整...
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...模型；在此模型的基础上，推导了硅片磨削面型的方程以及表征硅片面型精度的重要指标一硅片总厚度变化(TotalThicknessVariation，TTV)的计算公式；应用VC++6.0编程技术和OpenGL三维图形库开发了磨削面型仿真软件，对真空吸盘修整...
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