微机械电子系统(Micro-electro-mechanical System, MEMS)是以微传感器、微执行器以及驱动和控制电路为基本元器件组成的自动性能高、可以活动和控制、机电合一的微机...
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...基金资助项目(60472125) 【分类号】： TN911.4 【正文快照】： 0引言微机械电子系统(MEMS,micro electronic mechanical system)是以硅为原材料,采用尖端的微米/纳米技术以及专用集成电路制造技术,加工而成的一种微型机电装置。
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微电子机械系统 MEMS ; Micro Electro Mechanical Systems ; mems-micro -electro- mechanical system ; Microelectronic Mechanical System MEMS
利用微机械电子系统 micro electro mechanical systems
微光电子机械系统 MOEMS ; Micro Opto-electro Mechanical System
射频微电子机械系统 RF MEMS ; Radio Frequency micro electro mechanical Systems
磁性微电子机械系统 MMEMS
生物微型机械电子系统 BIOMEMS
集成微电子机械系统 integrated micro electro mechanical system
和微电子机械系统 Micro-Elecro -Mechanical-Systems ; MEMS ; Micro Electronic and Mechanical System
初步研究表明：非线性对微机械电子系统动力学行为有着严重的重要的影响。
The research indicates that nonlinearity has a very important effect on the dynamical behavior of MEMS system.
微驱动器作为微机械电子系统的核心部件，一直是微型机械电子系统(MEMS)的研究热点。
Micro actuator, as the important MEMS component, has become the research focus in Micro-Electronic Mechanical Systems (MEMS) field.
平面微型弹簧是微机械电子系统（MEMS）中一种常用的弹性元件，其蛄构形状的不同将显著影响其刚度系数。
The planar micro-spring is commonly used in MEMS, the rigidity coefficient of the spring changes with the structural form of the spring.
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