这些技术支持两种加工方法：在硅底板上深度刻蚀以形成驱动部分的体微加工（Bulk Micromachining），在层叠于硅底板表面的膜上形成驱动部分的表面微加工。
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...roactuators）、微机械（Micromachining）、微电器（Microelectronics）、激光学（Microoptics）以及微加工（Microfabrication），将成为新兴工业而取代若干传统工业，最终实现机电产品及仪器仪表工 【作者单位】 ： 浙江大学高技术现代光学中心!
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...ed circuit; IC)工艺序列(例如，CMOS工艺、双极工艺、或BICMO 工艺)加以制造，而微机械元件则利用兼容的"微加工(micromachining)"工艺 加以制造，所述"微加工"工艺通过有选择地蚀刻掉硅晶片的某些部分或者添加新 结构层而形成机械及机电装置。
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The consequences are benefit to Silicon electrochemical micromachining technology and the technology will be hopeful to become an new technology about Silicon deep-holes etching technology.
其结果对进一步开展这方面的研究工作具有指导意义，在进一步深入开展研究电化学体硅微加工技术时，可有望成为实现硅深孔列阵加工的新技术。
参考来源 - 硅微通道列阵电化学微加工技术研究The micro-machining system consists of a laser source with 355nm wavelength and a bridge style mechanical structure.
其中激光器选择355nm波长的紫外光源,结合光路系统和“龙门式”机械结构,构建了整个微加工系统的硬件平台。
参考来源 - 光敏玻璃紫外脉冲激光微加工理论与技术的研究At last, laminar flow was applied in microfabrication of glass structure, solvent extraction and in-channel metal pattern.
最后将层流应用于玻璃微加工,溶剂萃取和金属图案化等,带来了常规方法所没有的优点。
参考来源 - 微流控芯片中层流现象的研究与应用This work designs a mask projecting micro-machining system of excimer laser, including homogenizer, projecting image system and locating monitor system.
本文主要从准分子激光的均束、投影成像和同轴监控定位三方面进行了研究,研制成功了一套准分子激光掩模投影微加工系统。
参考来源 - 准分子激光微加工光学系统研究Excimer lasers are intense sources in ultraviolet range with suitable properties for microfabrication applications, short laser pulse are used for ‘no-thermal’ablative material removal of different material like polymers, glasses and ceramics.
准分子激光是一种适用于微加工的紫外波段强光源,短脉冲宽度使得它对聚合物、玻璃和陶瓷等材料的加工可实现无热去除。
参考来源 - 准分子激光微加工光学系统研究With the rapid development of micro-fabrication technique and MEMS technology, so micro/mini tubes with an equivalent hydraulic diameter of micron/millimeter are widely used in the current industry and study of convection in such tubes are becoming more and more important.
随着微加工技术和MEMS技术的快速发展,当量直径在微米/毫米量级的微细、微小通道在现代工业中被广泛使用,微细/微小管内的对流换热成为当前重要的研究课题之一。
参考来源 - 固壁轴向导热对微小管内对流换热影响的实验研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
比如，现在有一种新型设备叫“微加工有机分析仪”，又称 M.O.A。
For example, there's a new instrument called the microfabricated organic analyzer, or M.O.A.
微加工蔬菜的涂膜保鲜技术。
介绍了准分子激光微加工的机理、特点和应用。
Mechanism, characteristic and application of excimer laser micromachining are introduced.
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