双能量源存储系统 Dual-source energy storage system
双储存系统
Dual storage system
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EUV掩膜板被自动送入和送出双盒容器(Dual pod)中；其中内层盒可以储存在InSync系统的环境下。
EUV masks are automatically transferred into and out of the dual pod; the inner pod can be stored inside the InSync environment.
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