去光阻(Dephotoresist)CF4 工业气体危害
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去光阻溶剂之一商品 ACT
光阻去除 Resist remove ; Photoresist removal
电浆光阻去除 Ashing ; ASHING STRIPPING
然后再把光阻剂去除 Photoresist Scrip
光阻去除后检查 ASI
去光阻
Removing light resistance
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