...工控世界网,工业自动化领域专业传媒 关键词：原子光刻；激光感生荧光；原子束激光稳频 [gap=1054]Key words：Atom lithography；Laser induced fluorescence(LIF)；Laser frequency stabilization ..
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原子全息光刻 atom hologram lithography
Direct writing atom lithography is a new technique in which resonant light is used to pattern an atomic beam and the nanostructures are formed when the atoms deposit on the substrate.
利用激光驻波场汇聚原子实现纳米条纹制作的方法,即原子光刻技术,是一种新型的制作纳米结构长度传递标准技术,它在纳米结构制作领域内所体现出来的优势是其他传统光学制作方法所不能比拟的。
参考来源 - 铬原子与激光场的相互作用及其沉积特性研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
用亚稳态氖原子束进行了原子光刻实验。
The atomic lithography experiments were carried out by use of a metastable neon atomic beam.
提出了优化实验参数、增加束掩模和利用刻蚀技术三种改善原子光刻实验的方法。
Three solutions of optimization of experimental parameters, adding beam mask and using etching technologies for improving atom lithography quality are presented.
在原子光刻中，对不同原子在各种条件下的沉积过程的研究是具有非常重要的意义的。
The research of the processes of atomic deposition using different atoms in various conditions has an important significance.
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