因此，PECVD对于具有严格的热预算的集成电路制造(诸如，对于特大规模或者超大规模集成电路(VLSI或者ULSI)器件制造)是有利的。用于这些工艺中的处理腔室通常包括设置在其中的基板支撑件或者基座以在处理期间支撑基板。
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松弛是中央在静态时序分析的概念和超大规模集成（VLSI）设计的一般。消极懈怠，违反时序约束，同时积极松弛的X PS是指一个额外的延迟的x PS（或更小的延时在早期模式的X PS）是可以容忍...
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VLSI Design 超大型积体电路设计 ; 超大规模集成电路设计 ; VLSI设计
VLSI设计基础 Basis of VLSI Design
vlsi circuit 超大规模集成电路 ; 积体电路
Basis of VLSI Design VLSI设计基础
CMOS VLSI 超大规模集成电路 ; cmos超大规模集成电路
VLSI Systems 超大规模集成电路系统
VLSI-TSA 研讨会
vlsi technology 超大规模集成技术 ; 超大规模集成电路
vlsi testing 超大规模集成电路测试
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ABBREVIATION for very large-scale integration 超大规模集成
Now, the design and manufacture technology of VLSI have been perfected.
当代超大规模集成电路设计与制造技术日趋成熟。
"It's a huge challenge for them," said Dan Hutcheson an analyst at VLSI Research.
“这对他们将是一个巨大的挑战，”VLSI研发部的分析师Dan Hutcheson说。
The parallel perturbation technique is well-suited to mixed-mode VLSI implementation.
该并行扰动技术非常适合于用混模vlsi实现。
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