-7 中文名称：硅化钛 英文名称：Titanium silicide 分子式：H4Si2Ti 分子量：108.06976 更多的硅化钛物化性质，请参考960化工词典词条： 硅化钛 相关产品： 硫化铂(IV), Pt
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The typical growth condition is also determined. The composition of titanium silicide films is analysed…
还确定了典型工艺条件，并用俄歇电子能谱分析了硅化钛膜的组分。
The Titanium silicide film has its potential advantage in forming a gate electrode and interconnection for VLSI because of its low resistivity and some other good characteristics.
硅化钛薄膜由于电阻率低和其它一些良好特性，在VLSI的栅电极和互连线中显示出它潜在的优势。
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