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reticle stage

  • 视网膜阶段：在显微镜中，视网膜阶段是指将样本放置在视网膜上的阶段，以便观察和分析。

网络释义专业释义

  标线片载物台

... reticle rotation error标线旋转误差 reticle stage标线片载物台 reusable design再利用设计 ...

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  • 掩模台 - 引用次数：5

    Taking advantage of synchronization compensator, position compensation is fulfilled by using the fine reticle stage to compensate the deviation between position of the wafer stage and wafer stage.

    设计了同步补偿器,利用掩模台微动台运动实时补偿掩模台与硅片台间的位置同步误差。

    参考来源 - 极紫外光刻机工件台精密机械及控制相关技术
  • 标线片载物台
  • 标线片载物台

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双语例句

  • A sliding mode synchronization controller of the reticle stage was added to the conventional PID control system.

    在常规pid控制系统基础上增加了掩模台精动滑模同步控制器。

    youdao

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- 来自原声例句
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