...；反应离子刻蚀 [gap=1159]Key words:integrated optics; optical devices; lithium niobate (LN); dry etching; reactive ion ...
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Reactive Ion Etching 反应离子刻蚀 ; 反应离子腐蚀 ; 反应性离子蚀刻
reactive ion etch 活性离子腐蚀 ; 离子蚀刻
reactive ion beam 活性离子束
reactive ion beam etch 活性离子束腐蚀
reactive ion beam oxidation 活性离子束氧化
reactive ion etch resistance 耐活性离子腐蚀性
reactive ion etch system 活性离子腐蚀系统
Deep Reactive Ion Etching 深层离子蚀刻技术 ; 深反应离子刻蚀 ; 离子蚀刻技术 ; 利用深反应离子蚀刻
reactive ion plating 反应离子镀
Also, the cost should be controlled well. This thesis is to research the reactive ion etching (RIE) and make it to be applied in the IC device with TSV wafer level package.
本论文的目的是通过对反应离子刻蚀技术的研究,使之应用于IC器件TSV晶圆级封装技术中。
参考来源 - 反应离子刻蚀在穿透硅通孔封装技术中的应用研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
And all of the foundries utilize similar equipment, which includes deep reactive ion etch tools and wafer bonders.
所有芯片制造厂都使用类似的设备，包括深反应离子蚀刻工具和晶片键合机。
Low voltage high current reactive ion plating is a new progress in the field of optical thin films deposition techniques.
光学薄膜低压大电流反应离子镀技术是近年来光学薄膜技术领域中的最新进展。
The influence of chamber pressure, gas flow rate and RF power on micro loading effect in reactive ion etch of silicon dioxide is researched.
对二氧化硅反应离子刻蚀中反应室压力，刻蚀气体流量和射频功率等因素对刻蚀速率和刻蚀均匀性的影响进行了研究。
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