Reactive Ion Etching 反应离子刻蚀 ; 反应离子腐蚀 ; 反应性离子蚀刻

Ion Beam Assisted Reactive Etching 离子束辅助反应刻蚀

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Deep Reactive Ion Etching 深层离子蚀刻技术 ; 深反应离子刻蚀

reactive sputter etching [电子] 反应溅射刻蚀

Reactive Ion Etching System 反应离子刻蚀系统

triode reactive ion etching system 三极型反应性离子蚀刻系统

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Polysilicon Reactive Ion Etching 复晶硅活性离子蚀刻系统

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