5) 相偏移光罩(phase shift mask): 此方法主要由IBM的M. D.
基于52个网页-相关网页
摘 要: 相移掩模(Phase Shift Mask)在实际使用过程中,往往会因为保护膜沾污、损坏或者因为掩模结晶(Haze)等问题需要返回掩模工厂进行重新贴膜。
基于36个网页-相关网页
...起制造困难 减小光波长λ 开发新光源, PR和设备 波长减小的极限:UV到DUV, 到EUV, 到X-Ray 减小K1 相移掩膜(Phase shift mask)
基于8个网页-相关网页
... 称作相位转换函数 phase transfer function 相位转换光罩 Phase Shift Mask 相位转换函数 phase transfer function ...
基于1个网页-相关网页
alternating-aperture phase-shift mask 交变孔径相移光罩
Phase-shift mask 相移掩模
alternating phase shift mask 相移掩模
·2,447,543篇论文数据,部分数据来源于NoteExpress
Therefore, a new approximation model for alternating phase shift mask considering shadowing effects was proposed in this paper, and shadowing ratio was redefined.
因此本文针对交替式相移掩模,提出了一种考虑阴影效应的近似模型。
youdao
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动