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mwecr

微波电子回旋共振(Microwave Electron Cyclotron Resonance)

本课题采用微波电子回旋共振(MWECR)等离子体装置,以六甲基二硅氧烷(HMDSO)为单体,氩气为载体,氧气为反应气体,在PET基材上进行了氧化硅薄膜的沉积研究。

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电子回旋共振

用等离子体化学气相沉积（PECVD）、磁过滤阴极电弧沉积（FCVA）、微波电子回旋共振（MwEcR），均能实现有较多高能离子的沉积离子流。考虑到在si衬底上添加有一层有机层，在本论文研究中采用了后两种方法。

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短语

MWECR-CVD 微波电子回旋共振等离子体CVD ; 微波电子回旋共振化学气相沉积

MWECR CVD 等离子体化学气相沉积

HW-MWECR-CVD 微波电子回旋共振化学气相沉积

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In order to simplify the MWECR CVD system using multiple electromagnetic coils, the new magnetic fields generated by assembling a electromagnetic coils and a permanent magnet unit are presented.

为了简化多电磁线圈m WECR - CVD装置，提出将单个电磁线圈和一个永磁体单元组合，以形成所需的新型磁场。

youdao

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